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微光机电系统书籍详细信息
- ISBN：9787111192664
- 作者：暂无作者
- 出版社：暂无出版社
- 出版时间：2006-8
- 页数：310
- 价格：28.00元
- 纸张：暂无纸张
- 装帧：暂无装帧
- 开本：暂无开本
- 语言：未知
- 丛书：暂无丛书
- TAG：暂无
- 豆瓣评分：暂无豆瓣评分
内容简介：
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
书籍目录：
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其它内容：
书籍介绍
本书介绍了微光机电系统（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时，本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手，意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统，并能在实际的工程中考虑使用。
本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员，科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。
书籍真实打分
故事情节：6分
人物塑造：5分
主题深度：3分
文字风格：3分
语言运用：3分
文笔流畅：9分
思想传递：4分
知识深度：3分
知识广度：8分
实用性：9分
章节划分：9分
结构布局：3分
新颖与独特：4分
情感共鸣：3分
引人入胜：7分
现实相关：6分
沉浸感：9分
事实准确性：9分
文化贡献：4分
网站评分
书籍多样性：5分
书籍信息完全性：3分
网站更新速度：5分
使用便利性：5分
书籍清晰度：3分
书籍格式兼容性：6分
是否包含广告：7分
加载速度：8分
安全性：5分
稳定性：3分
搜索功能：6分
下载便捷性：4分
下载点评
- 无多页(71+)
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下载评价
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